反渗透膜对硅晶圆清洗废水进行高效回收

　　将160,000个晶体管集成在米粒大小的硅片上，是科技进步的另一个里程碑。从地表来看，地壳中硅的含量达25.8%，为单晶硅的生产提供了无限的资源。由于硅片是地壳中极为丰富的元素之一，因此太阳能电池在资源上的优势也是硅成为主要光伏材料的主要原因之一。随着硅片工业的蓬勃发展，随着环境污染问题，产生了大量的废水。硅片清洗废水主要来自多晶硅锭的清洗工艺。用混酸法处理的多晶硅锭，在清洗过程中产生酸性废水。所述清洗废水是一种硝酸和氢氟酸的混合物，其主要污染物是pH、氟、钙盐。

　　近年来，随着膜分离技术的发展，在硅片型废水的净化方面，反渗透膜已成为可能。预处理后钙、氟离子含量降低，出水水质达到超滤要求。硅晶清洗液进入超滤膜系统，超滤产水进入一级反渗透膜系统，产水进入产水槽，浓水进入二级反渗透膜系统进一步回收，实现硅片清洗废水的深度处理。

　　硅晶圆清洗废水采用纯物理常温处理，无化学反应，能耗低。反渗透系统可在线设计再生清洗排污器，降低劳动强度和生产成本，提高生产效率。将反渗透膜回收率控制在75%左右，达到有效地回收利用。相对于其他设备，膜分离设备内部填充面积大，系统占用空间小，便于技术改造、扩建或新建工程，降低生产成本和投资。