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反渗透膜元件为半导体芯片生产用水提供保障

发布日期:2024-09-24 15:52:01

  反渗透膜元件在半导体芯片生产用水保障中起到核心作用,主要因为其能有效滤除水中的溶解盐类、有机物、细菌及颗粒物,提供超纯水满足半导体制造业的严格需求。具体贡献包括:

反渗透膜
反渗透膜

  1.确保超纯水质量:半导体芯片生产要求水的纯度极高,反渗透膜作为初级或中级净化步骤,与后续的EDI(电去离子)、紫外线消毒等工艺结合,可将水质提升至18兆欧厘米以上的电阻率,确保TOC(总有机碳)极低,以支持芯片的精细制造过程。

  2.防止污染与缺陷:微小的杂质都可能引起半导体芯片的性能缺陷或良品率下降。反渗透膜的使用显著降低了水中杂质含量,防止污染物在芯片制造过程中的引入,从而降低了生产缺陷,提升了产品品质。

  3.维护设备安全与寿命:高纯水还用于清洗和冷却等环节,反渗透处理能有效保护昂贵的半导体制造设备免受水垢和腐蚀的影响,延长设备使用寿命,降低维护成本。

  4.环境友好与可持续性:相比传统的化学处理法,反渗透膜系统减少了化学药剂的使用,更加绿色环保,符合现代半导体工厂对可持续发展的追求。

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  编辑:微笑女王  技术:星星