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集成电路制备超纯水中为何会应用到反渗透膜技术?

发布日期:2023-06-25 08:35:57

  集成电路生产几乎每道工序需要超纯水进行清洗,工件与水直接接触,水质达不到标准,水中的微量杂质可能使芯片再污染,对产品产生的影响不言而喻。

  在预处理阶段,“RO+EDI+抛光混床”工艺与传统超纯水处理工艺基本相同。原水经过严格预处理之后,进入RO反渗透系统,出水立刻送至EDI装置中,此时出水已经达到一般工业用超纯水要求,再经过抛光混床对出水进行深层次处理,保证出水无任何杂质,达到18兆欧电子级超纯水标准。

反渗透膜
反渗透膜

  1、反渗透膜高脱盐率、高抗污染,保证膜元件的稳定运行。

  2、反渗透膜对高硼、硅、锗等金属元素具有高去除率。

  3、反渗透膜清洗周期长,出水水质稳定,有效节约运行成本。

  4、反渗透膜适合超纯水行业EDI系统之前作为脱盐组件,保证EDI系统安全稳定运行,确保出水达标。

  反渗透膜的应用免去了加药系统,与反冲洗系统,工艺自带正向冲洗系统,不需要另外加任何设备,这类反渗透膜可应用于电子行业、超纯水行业、电厂、石油化工行业等。膜产品性能稳定,可以节省投资、降低运行费用、减少单位消耗。

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  编辑:微笑女王  技术:星星